離子濺射儀的保養方法是怎樣的？一文帶你全學會

　　離子濺射儀是一種緊湊的臺式涂層系統，特別適用于掃描電子顯微鏡成像中非導電樣品的高質量涂層。樣品的干燥和清潔是離子濺射涂層的基本要求。如有必要，應在交換樣品和陰極的位置用火花放電清潔樣品表面，然后在濺射涂層前恢復樣品。鐵、鎳、銅和鉛通常用作離子濺射儀器的陰極材料。有時電硬金、鉑、鈀、銦和其他金屬也可用作陰極材料。氧通常用作離子濺射儀器的反應氣體。
 



 

　　離子濺射儀的維護與保養方法：
 
　　在掃描電子顯微鏡的樣品預處理中，在樣品表面鍍金和提高樣品的導電性是離子濺射儀的主要用途。多年來，經常出現無法正常鍍金的錯誤報告，需要進行維護。
 
　　1、調整真空度
 
　　如果樣本倉內壁清潔后仍報告錯誤，請注意儀器的真空度。通常，鍍金過程中腔室中的壓力為7Pa。當壓力保持在6Pa或更低時，很容易報告錯誤。將樣品放置到位，蓋上樣品箱，啟動鍍金程序，觀察儀表板上的壓力變化。
 
　　當儀器前面的第二個指示燈(調整真空度)閃爍時，調整下面的旋鈕。當它順時針旋轉時，壓力會增加，當它逆時針旋轉時壓力會降低。根據需要小心地將其調節至約7Pa，以便儀器能夠正常電鍍。
 
　　2、清潔樣本箱
 
　　儀器使用過程中，樣品倉內壁會有污染物沉積。通常使用前會用干凈的布或紙擦拭，然后用耳球吹。當儀器長時間使用時，會有許多金顆粒附著在內壁的下邊緣，這很難擦除。可以在樣品倉中涂上金屬拋光膏，然后用紙反復擦拭，這樣更容易清潔，然后用酒精清洗。