簡要描述：實驗室加熱型勻膠機(jī)。光刻膠等均勻涂布在晶圓上的裝置，一種納米膜噴涂設(shè)備。
產(chǎn)品型號：IC5000廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新日期：2025-08-11訪 問 量：2667產(chǎn)品參數(shù)：
1.轉(zhuǎn)盤加熱控溫范圍：室溫-150℃
2.溫度分辨率：0.1℃
3.控溫精度：＜±0.5℃（穩(wěn)定后控溫精度）
4.轉(zhuǎn)盤溫度均勻性：＜±2％
5.轉(zhuǎn)速范圍：100-5000rpm
6.轉(zhuǎn)速分辨率：±1rpm
7.加速度可調(diào)范圍：100-5000rpm/s
8.最大單步旋涂時長：3000s
9.時間分辨率：0.1s
10.最多可編程100組100步程序，更多可擴(kuò)展
11.標(biāo)配可調(diào)卡爪載物盤（10-30mm方片或圓片可調(diào)），其他規(guī)格可定制
12.外型尺寸：280mm(W)*404mm(D)*270mm(H)
IC5000控溫勻膠機(jī)是一款高性能實驗室勻膠機(jī)，采用了*進(jìn)的設(shè)計理念，配合精密的運動控制系統(tǒng)，可以實現(xiàn)高精度、高均勻度的勻膠操作，并配有控溫系統(tǒng)，控溫均勻性好，可實現(xiàn)邊加熱邊勻膠功能，操作界面可存貯10組程序，每組程序可達(dá)10步。運行參數(shù)如轉(zhuǎn)速、轉(zhuǎn)動時間可實時顯示。
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